Verantwortlich: Prof. Tappertzhofen, M. Sc. Sarah Emily Beck, M. Sc. André Kosak
In diesem Kurs werden vermittelt:
1. Verfahren zur Dünnfilmabscheidung und -charakterisierung
2. Fotolithografische Strukturierung
3. Bauelementesimulation, Technologien und Charakterisierungen
In diesem Kurs werden vermittelt:
1. Verfahren zur Dünnfilmabscheidung und -charakterisierung
2. Fotolithografische Strukturierung
3. Bauelementesimulation, Technologien und Charakterisierungen
- Lehrende:r: Sarah Emily Beck
- Lehrende:r: Marion Brünninghaus-Willmes
- Lehrende:r: Philipp Czyba
- Lehrende:r: André Kosak
- Lehrende:r: Stefan Tappertzhofen