Verantwortlich: Prof. Tappertzhofen, M.Sc. Raphael Ahlmann, M.Sc. Yannik Saßor
In diesem Kurs werden vermittelt:
1. Verfahren zur Dünnfilmabscheidung und -charakterisierung
2. Fotolithografische Strukturierung
3. Bauelementesimulation, Technologien und Charakterisierungen
In diesem Kurs werden vermittelt:
1. Verfahren zur Dünnfilmabscheidung und -charakterisierung
2. Fotolithografische Strukturierung
3. Bauelementesimulation, Technologien und Charakterisierungen
- Lehrende:r: Raphael Dominik Ahlmann
- Lehrende:r: Sarah Emily Beck
- Lehrende:r: Marion Brünninghaus-Willmes
- Lehrende:r: Philipp Czyba
- Lehrende:r: Yannik Saßor
- Lehrende:r: Stefan Tappertzhofen